DIN EN ISO 14644-3に従い、クリーンルームの換気システムが、空気の温度と湿度（相対湿度）を用途に必要な限度値内に維持できる能力を備えているかどうかを試験する必要があります。周囲温度と気体湿度は、材料の膨張や硬化、微生物の増殖および分解、腐食、錆の形成などのプロセスに影響を与えるため、クリーンルーム内で生産された製品に損傷を与える可能性があります。このため、クリーンルーム内の温度と相対湿度を精密に測定することには大きな意味があります。さらに、照明の照度、騒音レベル、および快適度もルーム内のさまざまな場所で測定する必要があります。
- 高精度なプローブで、空気の温度と湿度が規制に準拠していることを保証
- また、クリーンルーム内の照明の照度と騒音レベルを簡単に、高い信頼性で測定
