クリーンルーム内の空気の清浄度は、多段階のフィルタリングと豊富な風量によって確保されています。クリーンルームで通気および換気を行う方法に応じて、2種類の基本的なクリーンルームシステムがあります。乱流または低乱流が使用されます。非一方向流によるクリーンルームでは、フィルタリングされたクリーンな空気が乱流を起こしながらクリーンルームに流入し、「混合空気」が排出されます。これにより、粒子濃度が常に希釈され続けます。換気回数を高めるには、クリーンルームクラスISO 1～ISO 5の層流クリーンルームが必要になります。この場合は、連続した一方向流が使用されます。そのため、風速、総風量、および計算された換気回数がクリーンルームの重要なパラメータになります。DIN EN ISO 14644-3では、乱流および低乱流の測定を行うためのルールが定められています。
- クリーンルームの風速と風量を測定することで、室内空気品質に関するガイドラインと規約を遵守
- 総風量を基に混合空気の乱流があるプラントの換気回数を判断
- DIN EN ISO 14644:2005 Part 3に準拠した測定技術
