클린룸의 공기 순도는 여러단계의 필터와 고기류에 의해 보장됩니다. 공기가 통하고, 환기가 가능케하는 방법에 따라, 두가지 클린룸 시스템이 존재합니다. 난기류나 낮은 기류가 사용됩니다. 난기류가 희석되어 흐르는 클린룸은 걸러진 청정 공기가 클린룸에 난류 방식으로 들어오고, 혼합공기는 추출됩니다. 이것은 미세입자의 농도를 지속적으로 낮출 수 있도록 도와줍니다.
높은 수준의 공기순환율을 확보하기 위하여, 층류 캐비닛 클린룸은 ISO 1-5 수준이 요구됩니다. 이러한 경우에 지속적으로 낮은 기류의 용적 유량이 사용됩니다. 이러한 이유로 풍속과 총풍량, 계산된 환기횟수는 클린룸의 중요한 관리 파라미터입니다.
DIN EN ISO 14644-3은 낮은 기류에서의 공기흐름 뿐 아니라 난기류에서 어떻게 측정해야 하는지에 대한 규칙을 서술하고 있습니다.
- 클린룸의 풍속 및 풍량 측정을 통한 실내 공기질 가이드라인 및 조건 준수
- 총 체적유량을 통해 난류 혼합 공기가 있는 설비의 공기 교환 비율 결정
- DIN EN ISO 14644:2005 Part 3 에 따른 측정 기술
