洁净室内的空气纯度通过多级过滤和高气流来保证。关于洁净室充气和通风的方式，有两个基本的洁净室系统。使用湍流或低湍流。对于具有湍流稀释流的洁净室，过滤后的洁净空气以紊流方式引入洁净室，并提取“混合空气”。这样可以连续稀释颗粒浓度。为了达到更高的空气交换速率，洁净室ISO 1至ISO 5要求层流洁净室。在这种情况下，使用连续的低湍流位移流。出于这个原因，流速，总体积流量和计算出的空气交换率是洁净室的关键参数。 DIN EN ISO 14644-3标准规定了如何在湍流和低湍流中进行测量。
- 通过测量洁净室内的流速和体积流量，遵守室内空气质量指南和规定
- 通过总体积流量确定湍流混合空气的工厂的空气交换率
- 测量技术符合DIN EN ISO 14644：2005 Part 3
