De reinheid van lucht in cleanrooms wordt gewaarborgd met een meertraps filtering en een hoog luchtdebiet. Wat de manier van lucht toe- en afvoeren bij cleanrooms betreft kan men twee principiële cleanroomsystemen onderscheiden. Er wordt ofwel gebruik gemaakt van turbulente of van turbulentie-arme stroming. Bij cleanrooms met turbulente verdunningsstroming wordt de gefilterde reine lucht verwerveld naar de cleanroom geleid en de ‘gemengde’ lucht afgevoerd. Hierdoor wordt een permanente verdunning van de deeltjesaantalconcentratie bereikt. Om meer luchtverversing te bereiken is bij de cleanroomklassen ISO 1 tot ISO 5 een cleanroom met laminaire luchtstroom nodig. Hier wordt gebruik gemaakt van een continue, turbulentie-arme verdringingsstroom. Daarom behoren stromingssnelheid, totale debiet en het op basis daarvan berekende aantal luchtwisselingen per uur tot de bepalende parameters van uw cleanroom. DIN EN ISO 14644-3 geeft daarbij zowel voor turbulente als voor turbulentie-arme stromingen voorschriften over hoe gemeten kan worden.
- Naleven van de richtlijnen en voorschriften voor de kwaliteit van de binnenlucht door meting van de stromingssnelheid en het luchtdebiet in cleanrooms
- Bepaling van het aantal luchtwisselingen per uur bij een installatie met turbulente gemengde stroming via het totale debiet
- Meettechniek volgens de eisen van DIN EN ISO 14644:2005 deel 3
